技术特点：
l多种接口安装方式可选
l结合Marathon®低温泵控制器可实现全自动再生控制
l采用Displex®气动技术
l自带设定点继电器
l可就地维修无需破坏真空
典型应用：
l物理气相沉积（PVD）
l离子注入
l化学气相沉积（CVD）
l分子束外延
l其他/实验室低温恒温器
l加速器
l真空炉
l薄膜沉积
住友低温泵的核心技术在于其高效的二级冷头设计。第一级冷挡板用于冷凝水蒸气（H₂O）等沸点较高的气体，并有效阻挡辐射热；第二级冷阵则冷却至极低温度（约20K以下），用于冷凝捕集氮气（N₂）、氧气（O₂）、氩气（Ar）等常见气体，并通过低温吸附效应抽除氢气（H₂）、氦气（He）等难凝性气体。这种组合确保了极高的抽速和极限真空度。
产品系列丰富，涵盖从小型到大型的各种规格，满足不同客户的容量需求。其特点包括：抽速范围广、极限真空度极高、运行安静无振动、且无需油润滑，能创造极其洁净的无烃真空环境。同时，住友低温泵以其出色的节能设计和长久的使用寿命，帮助客户有效降低综合运营成本，是高端制造和前沿科学研究中值得信赖的关键基础装备。
住友低温泵
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