热式气体质量流量控制器

热式气体质量流量控制器（Thermal Mass Flow Controller，简称TMFC）是基于热传导原理设计的高精度流量控制设备，凭借直接测量气体质量流量的特性，在半导体、光伏、生物医药等精密制造领域应用广泛。

其核心工作原理利用气体流动对热量的携带效应：传感器内置两根阻值随温度变化的热丝（或热膜），一根被电流加热至高于环境温度的恒定值，另一根作为参考端监测环境温度。当气体流过时，会带走加热丝的部分热量，导致其电阻变化；通过测量两根热丝的电阻差（或维持温度恒定所需的电流差），可直接换算出气体的质量流量（单位常用sccm或slm），无需额外进行温度、压力补偿。

TMFC的结构主要包括热式流量传感器、比例控制阀和微处理器三部分。工作时，用户通过界面设定目标流量，传感器实时反馈实际流量信号，微处理器通过PID算法对比两者差异，驱动比例阀（多为电磁阀或压电阀）动态调节开度，使实际流量稳定在设定值，控制精度通常可达±1%满量程，响应时间低至100毫秒以内。

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https://www.gkzhan.com/st319257/erlist_1764484.html 

http://www.schaloder.net/SonList-1764484.html 

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