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用于制造光学镜片的增透膜、反射膜等。通过蒸发特定的材料，如氟化镁、银等，可以在光学镜片表面形成一层厚度均匀、光学性能优良的薄膜，减少光线的反射损失，提高镜片的透光率或反射率。在激光技术中，可用于制备激光镜片的防护膜、反射镜等，满足激光系统对光学元件的高要求。
蒸发镀膜仪的组成：
1.真空腔体：这是蒸发镀膜仪的主体部分，用于提供一个密闭的高真空环境。腔体的设计通常考虑到易于操作和维护，如采用前开门式结构，方便取放基片、更换蒸发源以及进行日常的清洁和保养。腔体的大小和形状会根据不同的应用需求有所差异，可以容纳较大尺寸的基底，满足大规模生产或特殊实验的要求。
2.真空系统：由真空泵、真空阀门、真空管道等组成，负责将腔体内的气体抽出，以达到所需的真空度。常见的真空泵包括机械泵、分子泵等。机械泵主要用于粗抽，能够快速将腔体内的大部分气体抽出，而分子泵则用于进一步提高真空度，其工作原理是基于高速旋转的转子将气体分子吸附并排出，从而获得真空度。
3.蒸发源：是蒸发材料加热蒸发的关键部件，根据加热方式的不同，有各种不同的类型。如电阻加热源中的钨舟、钼舟等，它们能够承受高温，且与蒸发材料有良好的热接触，确保材料均匀受热蒸发。电子束蒸发源则相对复杂，它通过电子枪产生高能电子束，聚焦在蒸发材料上，使其迅速熔化并蒸发。
蒸发镀膜仪
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